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采用光学轮廓仪测量的型腔的Ş貌图Q包括型腔的高度差、粗p度和截面轮廓等。从?可知Q所加工的型腔侧壁较陡直。微l电(sh)解加工的型腔表面光滑Q经光学轮廓仪测量的加工表面的面_糙度Sagؓ(f)0Q?63μmQ电(sh)解腐蚀后的不锈钢表面?
׃甉|扫描速度?00μm/sQ且无需制作微细成型甉|Q所以加工每个型腔样件效率非帔R。该工艺在微?hu)道、微模具型腔制作{方面具有很好发展前景?
ZȀ光表面改性,与微l电(sh)解加工相l合Q研发了(jin)Ȁ光掩膜微l电(sh)解加工^収ͼ探烦(ch)?jin)激光掩膜微l电(sh)解加工机理。首?a target="_blank" >利用光纤Ȁ光在304不锈钢表面打?/a>Q进行表面改性,生成?jin)具有耐腐蚀性Fe、Cr氧化物掩膜层Q再利用Ȁ光掩膜层在微l电(sh)解加工中做掩膜保护层实现微细加工?
加工试验l果证明Ȁ光掩膜微l电(sh)解复合加工工快速加工出微细l构Q该工艺在微l加工领域具有很好的发展前景?